Explication détaillée du capteur de pression silicium diffus

Le capteur de pression est une sorte de capteur de pression qui peut être utilisé dans les champs en acier, chimique et autres pour mesurer la pression, et peut réaliser le contrôle automatique de la pression lorsqu'il est utilisé avec le régulateur de pression.

Capteur de pression de silicium en silicium / Introduction au principe

Le capteur de pression de silicium de diffusion est basé sur le principe de l'effet piézorésistif, en utilisant la technologie de processus intégrée par le dopage et la diffusion, le long de la direction cristalline caractéristique sur la tranche de silicium monocristal L'intégration de la détection de capture de force et de conversion électrique est fabriquée.

La pression du capteur de pression silicium diffusé agit directement sur le diaphragme du capteur (acier inoxydable ou céramique), provoquant le diaphragme à produire un micro-déplacement proportionnel à la pression du milieu, et la valeur de résistance du capteur change. Le circuit électronique détecte ce changement et le convertit. Un signal de mesure standard correspondant à cette pression est la sortie.

Caractéristiques du capteur de pression de silicium de diffusion

1. Convient pour fabriquer des émetteurs à petite échelle

L'effet piézorésistif de la résistance sensible à la force de la puce de silicium n'a pas de zone morte dans la plage basse près du point zéro, et la plage du capteur de pression peut être aussi petite que plusieurs KPa.

2. Sensibilité à la sortie élevée

Le facteur de sensibilité de la résistance à la déformation en silicium est de 50 à 100 fois plus élevé que celui de la jauge de déformation métallique, de sorte que la sensibilité du capteur correspondant est très élevée et la sortie de la plage générale est d'environ 100 mV. Par conséquent, il n'y a pas d'exigences particulières pour le circuit d'interface, et il est plus pratique à utiliser.

3. Haute précision

Étant donné que la détection, la conversion sensible et la détection du capteur sont réalisées par le même composant, il n'y a pas de lien de conversion intermédiaire et que les erreurs de répétabilité et d'hystérésis sont petites. Étant donné que le silicium monocristallin lui-même a une rigidité élevée et une petite déformation, une bonne linéarité est assurée.

4. Étant donné que la déformation unisexuelle des travaux est aussi faible que l'ordre de micro-contrainte, le déplacement maximal de la puce élastique est dans l'ordre de sous-micron, il n'y a donc pas d'usure, pas de fatigue, pas de vieillissement et de durée de vie est aussi longue que 1 × 107 cycle de pression, avec des performances stables et une haute fiabilité.

5. En raison de l'excellente résistance à la corrosion chimique du silicium, même les capteurs de pression silicium diffusés non isolés ont la capacité de s'adapter à divers milieux dans une large mesure.

6. Étant donné que la puce adopte un processus intégré et n'a pas de composants de transmission, il est de petite taille et de poids léger.

Précautions du capteur de pression de silicium Diffusion pour une utilisation

1.Lorsque sur la gamme ou la sous-gamme est sélectionnée, l'amplitude doit être contrôlée dans ± 30% FS.

2. Le mode de pression est divisé en pression de jauge, pression absolue et pression d'étanchéité, qui peuvent être sélectionnées raisonnablement en fonction des besoins.

3. Confirmez la surcharge maximale du système. La surcharge maximale du système doit être inférieure à la limite de protection contre la surcharge du capteur, sinon elle affectera la durée de vie du produit et même endommagera le produit.

4. Ne touchez pas le diaphragme avec des objets durs, sinon cela fera la rupture du diaphragme.

5.Le matériau et le processus de fabrication du noyau de pression négatif ne sont pas les mêmes que la pression positive, de sorte que le noyau de pression négatif ne peut pas être remplacé par le noyau de pression de jauge.

6.Veuillez vérifier attentivement le manuel d'instructions avant l'installation pour éviter d'endommager le produit causé par une mauvaise installation.

7. L'utilisation d'importance peut entraîner un danger et des blessures corporelles.

8.Le noyau est retiré du boîtier, et il est interdit de tirer les fils et les pattes de tube.

Applications de capteur de pression de silicium de diffusion

Les capteurs de pression de silicium en silicium sont principalement utilisés dans les systèmes de contrôle de processus, les instruments d'étalonnage de pression, les systèmes hydrauliques, les instruments biomédicaux, les systèmes et les vannes hydrauliques, la mesure de niveau de liquide, l'équipement de réfrigération et les industries de contrôle HVAC. On peut dire que toutes les industries ayant des exigences d'automatisation élevées peuvent utiliser des capteurs de pression silicium diffus.